第111期(2015年6月期)連結売上高構成比

 真空技術をコアとしたフラットパネルディスプレイ(FPD)製造装置をはじめとする各種真空装置・機器やサービスを提供する真空機器事業と、真空技術の周辺技術をコアとした材料、表面解析や制御システムなどを提供する真空応用事業に区分されます。

FPD及びPV製造装置

液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、有機ELなどの次世代ディスプレイのFPD製造装置を提供しており、ワールドワイドでトップクラスのシェアを獲得しています。特に、液晶用のスパッタリング装置やプラズマCVD装置、有機EL製造装置に強みを持っています。
また、結晶系や化合物系太陽電池製造装置などを提供しております。

半導体及び電子部品製造装置

半導体製造工程の前工程で使用するスパッタリング装置、エッチング装置、イオン注入装置、CVD装置などを提供しています。特に、配線パターン形成においては、メタライゼーション装置などの最先端のプロセスに対応しています。また、LEDをはじめとする化合物半導体装置をソリューションで提供している事に加え、パワー半導体や電子部品製造装置も提供しております。

コンポーネント

真空状態を作り出す真空ポンプ、多様な気圧レベルに対応した真空計器、質量分析計やプロセスガスモニター、薄膜形成プロセスにおける成膜コントローラーおよび測定器、各種装置の電源などの広範囲な分野に提供しております。

一般産業用装置

医薬品、自動車分野など一般産業用として広範囲に装置を提供しています。特に、ハイブリッド・カーやEV関連の部品製造用装置や医薬品向け凍結真空乾燥装置に強みを持っています。

材料

液晶ディスプレイや半導体向けのスパッタリングターゲット材料、チタン・タンタル・ニオブなどの高機能材料を提供しております。

その他

熱分析、物性測定装置やオージェ電子分光分析装置などの表面解析装置、産業機械用駆動装置などの制御システム、半導体や液晶ディスプレイ用マスクブランクスなどを提供しております。