1952年8月 日本の産業界への貢献を目的にアルバック設立

株式会社アルバックの創立は1952年8月。 東京都港区に日本真空技術株式会社という
社名で誕生しました。「日本真空技術を根付かせ、産業に貢献しよう」と若き創始者
(主に真空研究者)の崇高な志に感銘した、松下幸之助(当時・松下電器産業会長)を始め
6人の著名な財界人の出資(ポケット・マネー)を得ての船出でした。当初の事業は、
米国・真空機器メーカーからの輸入販売が主体でした。

アルバックの始まりはここから(設立時の本社)
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アルバックの始まりはここから(設立時の本社)

1955-1958 真空装置の国産化への助走

1955年、アルバックは真空機器の国産化を目指し大森工場(東京都大田区)を開設。さらに1956年、
関西の真空メーカーであった株式会社東洋精機真空研究所と合併し、尼崎工場を開設。これによりアルバックは、真空冶金装置、真空化学装置、真空ポンプ、計器などわが国では唯一の真空総合メーカーとして地歩を固めていきました。

国産化への一歩を踏み出した大森工場と当時のアルバック社員
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国産化への一歩を踏み出した大森工場と当時のアルバック社員
一般用真空蒸着装置
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一般用真空蒸着装置

1959-1967 真空総合メーカーとして重厚長大産業への貢献

日本の高度経済成長時代(1960年頃)のアルバックは、本格的な国産化を図るため、1959年に横浜工場(横浜市南区)へ移転。真空溶解炉や真空蒸留装置など重厚長大産業に貢献する大型真空装置を次々に開発していきました。この頃すでにソ連(当時)や中国などへの輸出も活発に行い、海外企業との合弁も積極的に進めていきました。同時に、超高真空や高機能材料の研究を始めるなど、先進的研究開発型企業として真空業界のリーディングカンパニーとして認知されていきました。

可塑剤用高真空蒸留装置。濃縮ジュースや焼酎などの精製用大型プラント
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可塑剤用高真空蒸留装置。濃縮ジュースや焼酎などの精製用大型プラント
真空総合メーカーを目指し開設した横浜工場全景
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真空総合メーカーを目指し開設した横浜工場全景

1968-1975 自動車、家電など高度技術産業へ新技術の提供

1968年アルバックは、現在の茅ヶ崎本社工場を新設しました。この頃から従来の重厚長大産業に加え、自動車、家電、医薬品、食品など多くの高度技術産業が発展しました。1975年には、米国のIBM社から世界初のコンピュータ制御による全自動真空蒸着装置の受注に成功。これは、アルバックの知名度を世界的に高めたのはもちろんのこと、半導体・電子産業に大きな契機となりました。

茅ヶ崎本社工場(竣工時)
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茅ヶ崎本社工場(竣工時)
世界初、アルミ合金による超高速・軽量化油回転真空ポンプ
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世界初、アルミ合金による超高速・軽量化油回転真空ポンプ

1976-1981 独自技術による応用分野の拡大

アルバックの真空技術の応用分野はますます拡大していき、超LSIなどの各種電子デバイスや高純度・高機能材料の開発や製造には真空技術が重要な役割を担うようになりました。スパッタリング装置やプラズマCVD装置などアルバックは、先駆的な真空装置を次々に開発していきました。その一つである半導体製造装置「MCHシリーズ」は世界的ヒット製品となり、80年代に入り多くの半導体デバイスメーカに採用されました。さらに、国家的プロジェクトともいえる臨界プラズマ試験装置「JT-60」や超微粒子プロジェクトへの参加など、研究開発型企業アルバックならではの出来事もありました。

世界的規模で好評を博した半導体製造装置「MCH-9000」
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世界的規模で好評を博した半導体製造装置「MCH-9000」
”地上に太陽を!”というスローガンの下に参加した「JT-60」プロジェクト
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”地上に太陽を!”というスローガンの下に参加した「JT-60」プロジェクト

1982-1990 高機能薄膜製造技術に貢献

生産・サービス拠点の充実と半導体・電子産業への貢献

1980年代、日本の半導体・電子産業は世界中を席巻する時代でした。高機能でしかも省資源の薄膜技術の発達は、そうした新しい産業を創出していきました。それを実現できたのも真空技術がキーテクノロジーとして利用されたからです。アルバックは、半導体製造装置、ハードディスクや太陽電池などの電子機器製造装置で貢献しました。また、顧客満足度を高めるために真空業界ではいち早くサービス体制を確立しました。同時に生産拠点の拡大を図ったのもこの頃でした。

九州の拠点アルバック工業団地(平成17年航空写真)
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九州の拠点アルバック工業団地(平成17年航空写真)
半導体製造装置の生産拠点、クリーンな環境を誇る富士裾野工場
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半導体製造装置の生産拠点、クリーンな環境を誇る富士裾野工場

1991-2002 多機能・複合型真空装置

アジア地域進出と高品質・高機能化への貢献

1990年代、アルバックの真空装置は、多機能・省スペース・省資源・低コストを実現しました。その一つが半導体業界向けに開発した「CERAUS」であり、もう一つがフラットパネルディスプレイ(FPD)用に開発した「SMDシリーズ」などでした。アルバックのSMDシリーズはFPDにおける世界標準装置ともいえるほど普及していきました。また、世界の半導体・電子産業では韓国、台湾、中国などの台頭により、アルバックも積極的に進出を図りました。

「CERAUS ZX-1000」マルチチャンバー型半導体配線用スパッタリング装置
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「CERAUS ZX-1000」マルチチャンバー型半導体配線用スパッタリング装置
「SMDシリーズ」アルバックのFPD関連事業の礎を築いた液晶ディスプレイ用スパッタリング装置
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「SMDシリーズ」アルバックのFPD関連事業の礎を築いた液晶ディスプレイ用スパッタリング装置

2003- (未来に向けて)

現在、アルバックは、液晶、PDP、有機ELなどあらゆるFPD(フラットパネルディスプレイ)向け真空機器分野において、世界最大級の装置メーカーとして高い評価を獲得しています。これは総合的かつ高度な要求にお応えするため、アルバック・グループ各社の有する独自技術を結集した”アルバックソリューションズ”の提供によるものです。ますます大型基板化するFPD産業においても、アルバックは中国を始めアジア地域と共生しながらグローバル展開を図っています。

「SMD-2400 」LCD-TFT電極用スパッタリング装置最新モデル
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「SMD-2400 」LCD-TFT電極用スパッタリング装置最新モデル
「ZELDAシリーズ」有機EL用成膜装置
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「ZELDAシリーズ」有機EL用成膜装置